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HG/T 5962-2021硅片切割废液处理处置方法

标准编号：HG/T 5962-2021
标准名称：硅片切割废液处理处置方法
英文名称：
资料大小：
标准页数：12
发布日期：2021-08-21
实施日期：2022-02-01
标准状态：现行
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：
替代情况：
更新日期：2022-09-01
下载点数：45点

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标准简介

本文件规定了硅片切割废液（浆）的组成、处理处置方法、环保排放要求。
本文件适用于硅片切割生产线产生的切割废液（浆）的处理处置。

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