标准编号：GB/T 43313-2023
标准名称：碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法
英文名称：Test method for surface quality and micropipe density of polished silicon carbide wafers—Confocal and differential interferometry optics
资料大小：
标准页数：9
发布日期：2023-11-27
实施日期：2024-06-01
标准状态：现行 即将实施
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、山东天岳先进科技股份有限公司、常州臻晶半导体有限公司、湖州东尼半导体科技有限公司、厦门坤锦电子科技有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、广东天域半导体股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司等
替代情况：
更新日期：2024-01-23
下载点数：70点

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