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JJF 1100-2016平面等厚干涉仪校准规范

标准编号:JJF 1100-2016
标准名称:平面等厚干涉仪校准规范
英文名称:Calibration Specification for Flat Equal Thickness Interferometers
资料大小:
标准页数:15页
发布日期:2016-11-30
实施日期:2017-05-30
标准状态:现行
发布部门:国家质量监督检验检疫总局
起草单位:
替代情况:JJF 1100-2003
更新日期:2022-06-21
下载点数:45点
标准简介
本规范适用于平面等厚干涉仪的校准。
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