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标准编号：GB/T 36705-2018
标准名称：氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法
英文名称：Test method for carrier concentration of gallium nitride substrates—Raman spectrum method
发布部门：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2018-09-17
实施日期：2019-06-01
标准状态：现行
标准格式：PDF
起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、有色金属技术经济研究院、东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院
起草人员：郑树楠、张育民、石林、邱永鑫、王建峰、徐科、付雪涛、杨素心、丁晓民、陆敏、杨建
标准简介：
本标准规定了利用拉曼光谱测试N型氮化镓衬底片载流子浓度的方法。
本标准适用于在蓝宝石、碳化硅、硅、氮化镓材料上生长的N型氮化镓衬底片载流子浓度的测试。测试范围：1×10ˇ17 cmˇ-3～1×10ˇ20 cmˇ-3。